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Le silicium nanoporeux
Microstructuration diélectrique et application aux structures photoniques avancées - Volume 27, n°2
- Auteur(s) : P. Ferrand
- Editeur : EDP Sciences
- Date de parution : 15/09/2003
Résumé
On imagine volontiers le silicium nanoporeux comme une éponge. Pourtant, en raison de la taille nanométrique de ses pores, il constitue aux longueurs d'onde de l'optique un matériau homogène dont l'indice optique peut être ajusté en contrôlant la porosité. Cette propriété, associée à un procédé de fabrication rapide et peu coûteux, en fait un candidat prometteur pour la réalisation de microstructures photoniques. Dans cette étude, nous explorons différents types de microstructures photoniques planaires, en nous concentrant sur la propagation de lumière dans le plan, propagation que nous contrôlons par une structuration périodique submicronique.
Cet ouvrage s'adresse principalement au chercheur confirmé intéressé par les dernières avancées en termes de réalisation de structures photoniques en silicium nanoporeux, mais aussi à l'étudiant de troisième cycle, qui y trouvera sous forme concise et didactique une présentation générale de ce matériau, ainsi que des concepts de base des structures dites à bande interdite photonique.
Caractéristiques
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