Tous nos rayons

Déjà client ? Identifiez-vous

Mot de passe oublié ?

Nouveau client ?

CRÉER VOTRE COMPTE
Microlithography
Ajouter à une liste

Librairie Eyrolles - Paris 5e
Indisponible

Microlithography

Microlithography

Sheats;Smith James R.

800 pages, parution le 27/05/1998

Résumé

This self-contained text details both elementary and advanced aspects of submicron microlithography - providing a balanced treatment of theoretical and operating practices as well as complete information on current research in the field. Including discussions on electron beam, x-ray, and proximal probe techniques and enhanced with timesaving citations to key sources in the literature and more than 600 tables, equations, drawings, and photographs that clarify the material, the book covers mechanical systems, optics, excimer laser light sources, alignment techniques and analysis, resist chemistry, processing, multilayer lithography, plasma and reactive ion etching, metrology, and more.

Caractéristiques techniques

  PAPIER
Éditeur(s) Taylor & francis ltd
Auteur(s) Sheats;Smith James R.
Parution 27/05/1998
Nb. de pages 800
Poids 1225g
EAN13 9780824799533

Avantages Eyrolles.com

Livraison à partir de 0,01 en France métropolitaine
Paiement en ligne SÉCURISÉ
Livraison dans le monde
Retour sous 15 jours
+ d'un million et demi de livres disponibles
satisfait ou remboursé
Satisfait ou remboursé
Paiement sécurisé
modes de paiement
Paiement à l'expédition
partout dans le monde
Livraison partout dans le monde
Service clients 0 321 79 56 75 sav@commande.eyrolles.com
librairie française
Librairie française depuis 1925