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Microlithography Fundamentals in Semiconductor Devices and Fabrication Technology
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Librairie Eyrolles - Paris 5e
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Microlithography Fundamentals in Semiconductor Devices and Fabrication Technology

Microlithography Fundamentals in Semiconductor Devices and Fabrication Technology

Ito;Nonogaki;Ueno Toshio

336 pages, parution le 25/06/1998

Résumé

Explores the science and technology of lithographic processes and resist materials and summarizes the most recent innovations in semiconductor manufacturing. Considers future trends in lithography and resist material technology. Reviews the interaction of light, electron beams, and X-rays with resist materials.

Caractéristiques techniques

  PAPIER
Éditeur(s) Taylor & francis ltd
Auteur(s) Ito;Nonogaki;Ueno Toshio
Parution 25/06/1998
Nb. de pages 336
Poids 612g
EAN13 9780824799519

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