
GROWTH OF HIGH PERMITTIVITY DIELECTRICS BY HIGH PRESSURE SPUTTERING FROM METALLIC TARGETS
MARIA ANGELA PAMPILLON ARCE
Caractéristiques techniques
PAPIER | |
Éditeur(s) | Springer |
Auteur(s) | MARIA ANGELA PAMPILLON ARCE |
EAN13 | 9783319666068 |
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