Microsensors, MEMS and Smart Devices
Julian W. Gardner, Vijay K. Varadan, Osama O. Awadelkarim
504 pages, parution le 04/12/2001
Résumé
From the electronic nose and the intelligent ear to the
modern ink jet nozzle, the applications of smart devices
incorporating microsensors are increasing rapidly.
Microsensors are miniature devices that convert a
non-electrical quantity into an electrical signal. By
integrating a microsensor with a microprocessor, a smart
sensor is produced. Further integration with a
microactuator produces a microsystem with multifunctional
electrical and mechanical components known as
micro-electrical mechanical systems (MEMS).
Sommaire
Preface
About the Authors
Acknoledgements
- Introduction
- Electronic Materials and Processing
- MEMS Materials and their Preparation
- Standard Microelectronic Technologies
- Silicon Micromachining: Bulk
- Silicon Micromachining: Surface
- Microstereolithography for MEMS
- Microsensors
- Introduction to SAW Devices
- Surface Acoustic Waves in Solids
- IDT Microsensor Parameter Measurement
- IDT Microsensor Fabrication
- IDT Microsensor
- MEMS-IDT Microsensors
- Smart Sensor and MEMS
- Appendices
Caractéristiques techniques
| PAPIER | |
| Éditeur(s) | Wiley |
| Auteur(s) | Julian W. Gardner, Vijay K. Varadan, Osama O. Awadelkarim |
| Parution | 04/12/2001 |
| Nb. de pages | 504 |
| Format | 17 x 25 |
| Couverture | Relié |
| Poids | 1110g |
| Intérieur | Noir et Blanc |
| EAN13 | 9780471861096 |
Avantages Eyrolles.com
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