Semiconductor Material and Device Characterization
760 pages, parution le 22/03/2002
Résumé
The only current text that specifically addresses the
essential area of semiconductor processing, more
importantly embraces electrical, optical, chemical, and
physical techniques within one volume. The second edition
is a thorough updating and includes a new chapter
(Reliability and Probe Microscopy), many problems, revised
figures and updated references.
Index.
Contents
Preface
Introduction
- Resistivity.
- Carrier and Doping Density.
- Contact Resistance, Schottky Barriers, and Electromigration.
- Series Resistance, Channel Length and Width, Threshold Voltage, and Hot Carriers.
- Defects.
- Oxide and Interface Trapped Charges, Oxide Integrity.
- Carrier Lifetime.
- Mobility.
- Optical Characterization.
- Chemical and Physical Characterization.
Index.
Caractéristiques techniques
| PAPIER | |
| Éditeur(s) | Wiley |
| Auteur(s) | Dieter K. Schroder |
| Parution | 22/03/2002 |
| Nb. de pages | 760 |
| Format | 16 x 24 |
| Couverture | Broché |
| Poids | 1207g |
| Intérieur | Noir et Blanc |
| EAN13 | 9780471241393 |
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