La nanolithographie
Stefan Landis - Collection Traité EGEM : Electronique - Génie Electrique - Microsystèmes
Résumé
Alors que le nano-monde s'ouvre à nous, les chercheurs ont disposés ces dernières années d'un magnifique terrain de jeu pour mettre au point de nouvelles technologies destinées à façonner cet espace des nanos. Au delà des défis scientifiques qu'elles représentent, elles apparaissent comme indispensables pour transposer la miniaturisation opérée pour la micro-électronique dans d'autres champs applicatifs, laissant entrevoir l'émergence de nouvelles fonctionnalités. Bien plus qu'un recueil d'articles, cet ouvrage aborde aussi bien les principes physiques que les enjeux techniques et scientifiques de ces principales approches alternatives de nano-lithographie.
Destinés aux ingénieurs et chercheurs novices, cet ouvrage permettra également aux lecteurs plus expérimentés de parfaire leurs connaissances sur des technologies ayant un potentiel bien plus vaste que l'expérience de laboratoire.
L'auteur - Stefan Landis
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Sommaire
- Préface - Les imagiciens : L'alchimie de la représentation des origines à la nanosphère
- Introduction Enjeux de la lithographie
- Lithographie par rayons X : fondamentaux et applications
- Lithographie par nano-impression
- Techniques lithographiques par microscopie à sonde locale
- Lithographie et manipulation basées sur l'optique des nanostructures métalliques
- Transfert de motifs par des procédés d'auto-assemblage
- Métrologie pour la lithographie
Caractéristiques techniques
| PAPIER | |
| Éditeur(s) | Hermès - Lavoisier |
| Auteur(s) | Stefan Landis |
| Collection | Traité EGEM : Electronique - Génie Electrique - Microsystèmes |
| Parution | 12/03/2010 |
| Nb. de pages | 360 |
| Format | 16 x 24 |
| Couverture | Relié |
| Poids | 760g |
| Intérieur | Noir et Blanc |
| EAN13 | 9782746224469 |
| ISBN13 | 978-2-7462-2446-9 |
Avantages Eyrolles.com
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