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Technologies de base en lithographie
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Librairie Eyrolles - Paris 5e
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Technologies de base en lithographie

Technologies de base en lithographie

Stefan Landis - Collection Traité EGEM : Electronique - Génie Electrique - Microsystèmes

410 pages, parution le 15/03/2010

Résumé

Toujours plus vite, plus petit et à moindre coût. Tels sont les maîtres mots des technologies qui façonnent et façonneront le "nano-monde". La lithographie est aujourd'hui un outil complexe au coeur d'un procédé technologique de fabrication de micro et nano composants. Technologie pluridisciplinaire par excellence, la lithographie repousse sans cesse les limites de l'optique, de la chimie, de la mécanique, la micro et nano fluidique.

Cet ouvrage traite des technologies et procédés incontournables et principalement utilisés dans la fabrication industrielle de microprocesseurs et autres composants électroniques. Destinés aux ingénieurs et chercheurs novices, cet ouvrage permettra aux lecteurs plus expérimentés de parfaire leurs connaissances sur des techniques en constante évolution.

L'auteur - Stefan Landis

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Sommaire

  • Préface - Les imagiciens : L'alchimie de la représentation des origines à la nanosphère
  • Introduction - Enjeux de la lithographie
  • La photolithographie
  • Lithographie extrême ultraviolet
  • Lithographie électronique
  • L'écriture par faisceau d'ions focalisés
  • L'optique des particules chargées
  • Résines pour la lithographie
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Caractéristiques techniques

  PAPIER
Éditeur(s) Hermès - Lavoisier
Auteur(s) Stefan Landis
Collection Traité EGEM : Electronique - Génie Electrique - Microsystèmes
Parution 15/03/2010
Nb. de pages 410
Format 16 x 24
Couverture Relié
Poids 850g
Intérieur Noir et Blanc
EAN13 9782746224452
ISBN13 978-2-7462-2445-2

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